用导波法测量薄膜损耗

薄膜的损耗系数可以通过测定垂直入射时的透过和反射得到，也可以由测量沿着薄膜波导传输模单位长度的衰减得到。当损耗相当大时，前一种方法有用，而后一种方法则适用于损耗非常小的场合。以色列特拉维夫大学的研究人员最近将导波法加以推广，以较高灵敏度测量中等程度的损耗系数。他们在一层较厚的低损耗材料膜层上沉积待研究材料的薄膜，而这种低损耗材料膜层事先被沉积在一块高质量的玻璃基片上。