国家同步辐射实验室反射率计误差分析

中国科技大学国家同步辐射实验室“光谱辐射标准与计量实验站”上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率。为保证测试结果的精确性和可靠性, 在大量实验数据的基础上, 结合必要的理论推导, 对反射率计测试误差来源及影响程度进行了分析, 确定影响反射率计测试精度的主要因素包括光源、探测器、样品安装等。总结了光源波动、探测器损坏的几种典型形式, 定性、定量地分析了这些因素和样品安装、光斑尺寸对测试精度的影响, 针对性地提出了应对办法, 把测试误差控制在2％以内, 从而有效地保证了测试精度。