微波谐振腔湿度测量同轴环耦合设计与实现

基于微波谐振腔汽轮机内流动湿蒸汽湿度的测量原理，分析了微波谐振腔及同轴线小环耦合的场结构分布，设计出两端带栅网结构的湿度传感器。采用HFSS型微波软件对湿度传感器进行了建模仿真，由此得到场分布及S参数曲线图，以此设计出湿度传感器的结构尺寸。仿真结果表明，该微波谐振腔传感器工作在TE011模式下，谐振频率为9.58 GHz，其Ｑ=1 198，适合作为测试流动湿蒸气的传感器。与采用矩形波导和谐振腔的孔耦合相比，这种新型同轴线耦合装置体积小，对汽轮机设备的开口也小，实用性也强。