图1是一种三维电感式接触测量头示意图，图2是其结构图。探头⒈和导向板2（平行片簧的导向板）刚性连接，导向板2可在箭头豸的方向移动，并通过片簧3、12连接于基板13上。基板13是刚性支架，两个弹簧筒4、11固定在基板13上，内装螺旋弹簧5、9，其轴和箭头豸平行。受预应力的螺旋弹簧5、9压在螺栓挡7、8上，螺栓挡紧靠在三个球10（定位在弹簧座6内）上。变形杆14固定在板2上，其一端通过弹簧座6的一个空穴（位于螺栓挡7，8之间），且和挡之间没有间隙。
图1 三维电感式接触测量头示意图
图2 三维电感式接触测量头结构图
工作过程是：测量头在箭头豸方向运动，当探头1接触到工件后
