大型非球面在位横向剪切干涉检测系统与关键技术研究

大型非球面在位横向剪切干涉检测系统与关键技术研究，王起维，孙涛，高精度、定量检测方法和检测系统是实现超精密加工的重要条件，尤其对大型非球面超精密加工，检测技术始终贯穿其中（工艺过程检验