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超声信号能引起SU-8材料的厚度变化,将一薄层厚度均匀的SU-8膜镀在盖玻片上,再镀一层均匀金属银制成光滑反射面,制作了一个光声传感器,并借助此传感器计了一套实时、动态的光声成像系统。该光声成像系统中,吸收性样品的光声信号引起光声探测器上SU-8材料厚度变化,当一束激光经过探测器反射面时,该厚度变化将会调制反射光的相位,系统借助光学相衬滤波法解调该相移,得到SU-8的厚度变化量,获取与样品光声信号的分布对应的光强分布,从而获得样品的动态实时光声像。对光声信号的产生(光致超声效应)、光声信号的调制、光声信号的解调(传感器的制作)进行了论述,并对SU-8光声探测器对光声信号的感应特性做了初步实验研究,结果验证了SU-8能够探测光声信号。
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