氟等离子体处理引起的深能级陷阱及其对Al0.83In0.17N / AlN / GaN肖特基势垒二极管中电流传输的影响

研究论文
0 下载量 57 浏览量 2021-03-12 10:00:14 上传 评论 收藏 768KB PDF 举报
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