溶胶-凝胶法在Pt / Ti / Si衬底上厚PLZT波导膜的制备和光学特性研究

通过溶胶-凝胶法介绍了在Pt / Ti / Si衬底上厚锆钛酸铅镧（PLZT）波导膜（9/65/35）的制备Craft.io。 提供两种基板（平面和反脊结构）以沉积厚的PLZT波导膜，以减少其在光电子组件或器件中的应用所引起的传输损耗。 详细描述了膜生长的技术过程。 PLZT波导膜的光学特性，如透射光谱，光学损耗，折射率和电光效应，也得到了研究和讨论。