利用Mirau型相关显微镜进行面型检测的研究

在Mirau型干涉仪的基础上,利用相关检测的原理,实现了Mirau型相关面型检测仪。通过该面型检测技术,克服了移相显微干涉(PSMI)面型检测系统中纵向分辨能力受衍射效应制约这一限制,正确测量了面型的纵向尺度。