氧化物对(111 )锗片表面少子寿命的影响研究 (2011年)

为了提高(111)锗片表面少子寿命,分别采序体积分数30 %过氧化氢和硝酸作为氧化剂,对试样表面进行湿化学氧化,得到表面的氧化层。利序微波光电导衰减仪测量试样在氧化反应前后的少子寿命变化情况,采序X射线光电子能谱测试样的Ge3d谱图,并进行机理分析。结果发现:经过过氧化氢处理的试样少子寿命得到很大提高,分析是曲于Ge O2钝化了锗表面悬挂键而达到了钝化效果。