薄孔壁厚和小孔径测量系统 (2004年)

由于相邻孔壁厚度的测量根据进刀量进行计算时精度很低,故提出了一种应用电容传感器对2个微小孔间相邻孔壁进行精密测量的系统基于非接触式电容测孔传感器,研究了测头的电场边缘效应影响及设计了电容瞄准测孔传感器的测头对相邻小孔中心定位,利用电容差动测厚传感器测量孔壁系统由1个瞄准测孔传感器和2个差动测厚传感器及三通道测量电路组成,处理数据后直接显示孔径和孔间壁厚系统属非接触测量,无需修正测头及工件变形误差实验证明,测量精度为0.5um。