溶胶-凝胶法制备AZO薄膜工艺参数的优化

(华中科技大学材料科学与工程学院， 武汉 430074)摘 要：采用正交设计法，对溶胶-凝胶方法制备AZO薄膜的工艺参数进行了优化研究，确定了最佳工艺参数，为制备AZO薄膜的工业化控制提供了一种可行的方法。 关键词：AZO薄膜；溶胶-凝胶；正交设计 中图分类号：TN304.055；TG174.45 文献标识码：A 文章编号：1003-353X(2005)05-0022-021 引言 近年来，具有宽禁带(3.3eV)的n型半导体氧化锌(ZnO)薄膜成为国内外科技人员的研究热点。ZnO及ZnO∶Al薄膜在UV、VIS和NIR范围内的光透性和导电性都显示出非常好的性能，并且因为具有易产生缺陷和进行杂