溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究

（中国科学院半导体所材料中心，北京100083）摘 要：采用溶胶-凝胶方法，以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体，乙酰丙酮为螯合剂，乙二醇甲醚为溶剂，乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶，用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO 3纳米薄膜。用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析了薄膜的性能，结果显示薄膜的表面均匀、无裂纹、厚度20-30nm，折射率1.75-1.85，晶粒度35-60nm，表面平均粗糙度RMS为3.4-3.8nm，晶粒形貌呈类圆锥形态。 关键词：SrTiO3薄膜；溶胶-凝胶工艺；纳米薄膜 中图分类号：TN304.9 文献标识码：A 文章编号：1003-3