超声波悬浮和气动悬架的承载能力

为了确保在一定的振动幅度和精度的条件下提高气动悬浮的负载力，提出一种采用超声悬浮-气浮混合式悬浮方式来提高气动悬浮负载力的新方法。通过ANSYS软件对超声悬浮核心部件（压电换能器）进行优化设计加工，制作出混合式悬浮装置实验样机，并进行了悬浮能力的测试，得到的实验测试结果与理论计算结果相一致。能器可悬浮起质量为3 kg的物体，单位面积的悬浮质量可达59.7 g / cm2。供气压力为0.2 MPa时，混合式悬浮承载力约等于2倍的超声悬浮承载力与气动悬浮承载力之和。因此，该混合式悬浮装置可大幅度地提高气浮承载的悬浮能力，并且不改变气浮支撑的振动幅度和精度。