Mehrfachanregungen in IR- und NIR-Spektren von Augeliten Al2(OH)3(XO4)(X [equals] P, As, V)
Poster
Plasmaunterstützte Abscheidung von
BCN-Schichten
T. Thamm, K.-U. Körner, D. Dietrich, G. Marx*
Technische Universität Chemnitz, Institut für Chemie, Professur
Physikalische Chemie, Straße der Nationen 62, D-09107
Chemnitz
Keywords: Chemical vapour deposition; Precursor
Verbindungen aus dem System B-C-N sind aufgrund ihrer interes-
santen chemischen, thermischen und tribologischen Eigenschaft
