本文系统地报道了近年来所开展的有关金属多层薄膜的强度、变形与断裂行为的研究进展。着重介绍了本研究所开展的几种典型金属多层薄膜（Cu/Au、Cu/Cr、Cu/Ta等）的力学行为及其尺寸与界面效应。研究发现，随着多层膜的单层厚度减小，多层膜的强度明显升高，最后达到饱和。理论分析表明，不同种类金属多层膜的强度升高能力与界面结构有关。根据晶格失配与位错理论，所提出的统一模型可以很好地描述具有不同界面结构金属多层薄膜的界面强化能力。压痕诱发的具有不同尺度和界面结构的金属多层膜的塑性变形行为明显不同。当多层膜的单层厚
