氧空位对Ag / Nb：SrTiO3 / Ti结构的电阻转换性能的影响

为了获得最佳的电阻转换性能，研究了Nb：SrTiO3（NSTO）的氧空位浓度对Ag / NSTO / Ti结构的电阻转换性能的影响。 为了获得具有不同氧空位浓度的NSTO，在将衬底用于制造Ag / NSTO / Ti结构之前，已在不同的气氛和温度下对衬底进行了退火。 通过测量室温下的IV特性，耐久能力和电阻分布，研究了电阻开关性能。 结果表明，在氧气气氛和真空气氛中的退火均降低了开关性能。 在我们的案例中，在700摄氏度的空气中退火的设备显示出最佳的电阻开关性能。 经过分析，我们建议可以通过改变氧空位浓度来调节肖特基势垒高度和势垒宽度，它们在获得高质量的电阻开关特性中起着重要的作用。