微驱动器上的“十”字形片弹簧弯曲刚度的研究

推导了"十"字形片弹簧的弯曲刚度公式,并以通用有限元分析软件ANSYS为平台,通过具体实例验证了公式的正确性,仿真结果表明:理论计算结果和有限元分析结果吻合较好。这为特定情况下片弹簧功能尺寸的确定提供了依据,也在很大程度上提高了微驱动器的运行精度。