基于双材料微悬臂梁阵列的太赫兹波探测系统的研究

采用氮化铌和铝作为制备微悬臂梁的双材料，其中氮化铌用来吸收太赫兹波辐射，铝作为形变材料。利用氮化铌和铝的热膨胀系数相差较大的特性以及在吸热后产生形变的特点，与双材料微悬臂梁阵列探测红外波技术相结合，实现对太赫兹波的探测。采用微细加工技术制作出无基底的双材料微悬臂梁阵列结构。为了防止微悬臂梁的热散失，将微悬臂梁阵列放置在一个具有防振功能的真空腔中，利用机械泵和分子泵保持其高真空以提高探测系统的信噪比。采用反射式可见光光学读出方式间接获取太赫兹波的信息，并利用双图像做差的方法进行图像处理，提高了系统的分辨率。