辐照激光能量对SiO2薄膜特性及结构的影响 (2014年)

为了认识SiO2薄膜在激光辐照下的变化，本文以K9玻璃为基底，采用电子束热蒸发方法制备了SiO2薄膜，并将此组在相同实验条件下制备的薄膜加以不同能量的激光辐照，研究在激光辐照前后样片的透射率、折射率、消光系数、膜厚、表面形貌及激光损伤阈值（LIDT）的变化。结果表明，样片膜厚随激光能量的增加而减小，辐照激光能改善薄膜表面形貌，并使样片LIDT值提高，最终能使样片的LIDT值从16.96J/cm2提高至18.8J/Cm2。