基于LabVIEW的压电陶瓷相移器控制系统 (2009年)

压电陶瓷(PZT)作为微位移的执行装置,在光学测量方面得到广泛的应用。运用虚拟仪器软件设计的压电陶瓷相移器驱动、校正与位移精度控制系统,准确方便地实现了对压电陶瓷相移器的控制。通过LabVIEW编写的程序采集数据对PZT的位移量进行分析和计算,提出一种测量PZT驱动电压与位移曲线的新方法。通过Lab-VIEW控制数据采集卡的输出电压来控制PZT的驱动,位移精度可以达到纳米(nm)量级。