在传感器日趋微小型化的趋势下,该文提出一种扭摆式加速度计的结构。并对其进行了数学建模,分析了加速度输入时质量片扭转角的大小、力矩器产生的静电引力及支承梁的弯曲挠度和电容误差,给出了检测得到的加速度计的性能。结果表明,文中上述问题的分析思路是合理的,所设计加工出的加速度计试验样机已接近某些领域的实用要求。
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