一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法 (2012年)

叉指电极的应用比较广泛,尤其是用作敏感元件的电极。给出了一种叉指结构电极间分布电阻的计算方法,在理论分析计算的基础上,选取了几种常用尺寸的叉指电极,在中间均匀涂上掺杂的SnO2,通过实验测量其电阻,并与理论计算的结果进行比较,实际测量结果较好地验证了此计算方法的正确性。