基于驻留约束的半导体晶圆蚀刻系统实时调度算法 (2009年)

为有效利用半导体晶圆蚀刻系统，根据蚀刻系统的特点，进行了实时调度问题域的描述，提出了基于驻留约束的实时调度算法．在此基础上，建立了以无不良品和总完工时间最小为目标的启发式实时调度算法．仿真实验结果表明，该算法是有效和实用的．