集成光学用单模磁光波导薄膜

采用双层(BIAl)YIG膜结构来制作单模磁光波导。通过改变外延生长工艺来调节两层薄膜的折射率,可在一定波导的厚度范围内实现单模传输。X射线衍射测量表明薄膜质量良好,且易磁化方向平行膜面,最后利用棱镜耦合,观察了波导中的暗m线。