在掺有Er3 + / Yb3 +的硅酸盐玻璃中注入氧气的光学平面波导，用于集成激光产生

掺Er3 + / Yb3 +的硅酸盐玻璃是应用激光作用和信号放大的良好候选者。 通过在室温下以6.0 x 10（14）离子/ cm（2）的剂量注入6.0-MeV氧离子，可以制造掺Er3 + / Yb3 +的硅酸盐玻璃中的光学平面波导。 执行SRIM 2010代码以模拟注入过程中的能量损失，以便更好地了解波导的形成。 波导的导模和近场强度分布通过棱镜耦合和端面耦合方法来表征。 通过反射率计算方法和有限差分光束传播方法来数值计算平面波导的折射率分布和光传播模式。 该波导具有“阱+势垒”折射率分布，并且其光学损耗类似于1.02 dB / cm。 微发光和吸收研究表明，相对于整体而言，波导中的荧光和透射特性得到了很好的保留，这表明波导放大器和激光器的潜力很大。 （C）2014年光电仪器工程师协会（SPIE）