氮化硅微粉制备技术 (2006年)

就国内外氮化硅粉末合成的研究情况,按照气相合成法、液相合成法和固相合成法的分 类,综述了硅粉直接氮化法、碳热还原二氧化硅法、自蔓延法、热分解法、溶胶凝胶(sol-gel)法、 高温气相反应法、激光气相反应法和等离子体气相反应法等几种主要的氮化硅粉末制备方法,介绍 了各种制备方法的最新研究进展,并从产品质量、成本和生产规模等角度分析比较了各种制备方法 的特点,指出了制备氮化硅粉末的主要发展方向。