采用湿法化学刻蚀方法制备硅纳米线(SiNWs),对其进行快速热退火处理,利用水浴法在SiNWs表面生长氧化锌(ZnO)纳米线,制备了ZnO/SiNWs异质结湿度传感器。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)分析了ZnO/SiNWs异质结的表面形貌和结构。测试了ZnO/SiNWs异质结湿度传感器不同湿度环境的电容响应,分析了它的工作机制。测试结果表明:传感器具有相对较大的灵敏度,较短的响应时间,较好的重复性、湿滞特性和稳定性,从而说明ZnO/SiNWs异质结在湿敏领域有很好的应用前景。
