相移干涉计量中高精度相移器的研究

相移器是相移干涉计量中的关键技术,对测量精度有很大的影响,关系到相移技术的成败。介绍了一种闭环控制的高精度相移器,输出电压精度为0.1%,相移器重复误差小于3°,用该相移器的电子散斑干涉计量系统测量精度可达λ/100。