Feature-scale Simulations of Particulate Slurry Flowsin Chemical...

基于光滑化粒子流体动力学的特征尺寸级化学机械抛光研磨液颗粒悬浮流仿真，王冬，邵嗣烘，本文利用光滑化粒子流体动力学方法对化学机械抛光中材料移除机理进行了深入研究。对特征尺寸级研磨液、粗糙抛光垫、硅片缺陷、运