消像散掠入射光栅光谱仪和激光等离子体极紫外发射光谱

本文描述了自制的带环面镜的消像散掠入射球面光栅谱仪的设计和性能,并报告了利用它在20～120(?)波层范围观(?)铍,碳氟二锂和氟化钙的激光等与子体极紫外发射光谱的实验结果.