利用区域分解法,将直线法和有限差分法相结合,计算了多层介质多导体互连的电容和电感矩阵。通过在纯介质区域使用直线法,导体所在区域使用有限差分法分别进行求解,充分发挥其各自的优越性。数值结果表明该计算方法有效,且计算时间与介质层的厚度无关。
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