脉冲YAG激光波形对缸套内壁激光刻蚀微坑形貌的影响

为了减小激光刻蚀微坑表面的再铸层及增加刻蚀微坑的深度，利用双声光调制技术，通过对比0.25，7.5和200 μs 3个不同量级脉宽，及对比单峰、双峰和三峰等不同激光脉冲波形的激光脉冲刻蚀微坑形貌，来研究激光脉宽及脉冲波形对刻蚀微坑形貌的影响。结果表明，激光脉宽为0.25 μs时毛刺较多，脉宽为200 μs时表面熔凝现象明显，脉宽为7.5 μs时表面熔凝现象及毛刺都明显减少；单峰波形刻蚀微坑表面毛刺较多，深度为7.5 μm，三峰波形刻蚀微坑表面出现熔凝现象，深度为10 μm，双峰波形刻蚀微坑表面毛刺及熔凝最少，深度为15 μm。