斜角入射沉积TiO

采用电子束热蒸发技术在K9玻璃基底上以不同的沉积入射角沉积了单层TiO2薄膜，研究了不同入射沉积角沉积的TiO2薄膜的光学特性、填充密度和表面粗糙度，并比较了不同膜层厚度下薄膜表面粗糙度与入射沉积角之间的关系。研究结果表明，随着入射沉积角的增加，TiO2薄膜的透射率增加，透射峰值向短波移动，薄膜的填充密度从入射沉积角0°时的0.801 降低到入射沉积角为75°时的0.341；薄膜的表面粗糙度随着入射沉积角的增加而增加，当入射沉积角为75°时，薄膜的表面粗糙度略高于基底的表面粗糙度。在沉积入射角不变时，随着膜层厚度的增加，膜层的表面粗糙度降低。