不同干涉仪检测光学元件功率谱密度的比较

为了探究不同干涉仪对中频误差的响应规律，获得相对真实的功率谱密度（PSD）分布，分别利用4D AccuFiz、ZYGO DynaFiz以及ZYGO GPI三台干涉仪检测周期性波纹和划痕样品，并对一维实测PSD曲线进行对比分析。结果表明，不同干涉仪对中高频信息的响应度不同；干涉仪分辨率越高，响应度越高。利用仪器传递函数（ITF）曲线对实测PSD分布进行了修正，获得了较为真实的PSD分布。在某些频率范围内，标定的ITF曲线和实际响应仍存在差异。