ITO薄膜的微结构及其分形表征

ITO薄膜的微结构及其分形表征，孙兆奇，吕建国，采用直流磁控溅射法制备氧化铟锡（ITO）薄膜，用XRD、TEM和分形理论测试和分析了不同退火时间ITO薄膜的微结构。XRD分析表明：退火时间