横河PLCFA-M3在扩散炉上的应用

横河PLCFA-M3在扩散炉上的应用。扩散炉工作区间内（800到1000mm)一般需要±01℃（个别要求±0.5℃)。多数情况下只使用外温控制，内温只在数据测试（Profiling）和2-3周一次的矫正时使用。不同晶片及数量的要求内温相对外温设定值由profiling给出。使用内温时，使用串级控制，内温输出作为外温设定值使用。为防止电流过大，会加一些电流限定或限制值斜坡。