无外加氟施主产生KrF准分子发射谱实验研究

无外加氟施主情况下,在采用聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中,分别用摄谱法和光电转换扫描法对放电激发Kr/Ne混合气体产生的有关紫外谱进行了分析,确定了KrF准分子的生成。研究了发射谱随各参量的变化关系。