抗过载微陀螺结构的高灵敏设计与仿真

为解决高过载微陀螺难以实现高灵敏检测的问题，设计了一种高灵敏且高过载的微陀螺结构。设计的微陀螺结构驱动模态与检测模态的频率高度匹配，提高了微陀螺的结构灵敏度。该微陀螺采用面内检测方式，驱动与检测模态阻尼类型主要为滑膜阻尼，实现了在大气压环境下微陀螺的高品质因数 Ｑ 值设计。微陀螺均采用双悬臂梁设计，增加了微陀螺结构的稳定性，进而提高了其抗过载能力。最后通过微陀螺的器件级仿真，得到了所设计陀螺结构在驱动方向过载能力约为 100000ｇ(g=9.8m/s2)，检测方向过载能力约为70000ｇ的前提下，结构灵敏度为 53nm／[(°)/s ]。