基于纳米球光刻技术制备金属纳米孔阵列的工艺研究

基于纳米球光刻技术制备金属纳米孔阵列的工艺研究，王朝光，吴学忠，金属纳米孔结构阵列具有特殊的光学特性，在生化检测、太阳能电池及表面增强拉曼散射等方面具有潜在应用。纳米球光刻技术工艺简单