掺氮对纳米金刚石薄膜形貌及组成结构的影响 (2008年)

采用微波等离子体化学气相沉积技术，通过在甲烷和氢气的混合反应气源中通入不同浓度的氮气，合成了氮掺杂的纳米金刚石薄膜。表征结果表明随着氮气浓度的增加，所得到的金刚石薄膜的材料特征发生了明显的改变：膜层晶粒结构由从未见过的大尺寸片状向团簇状再向微颗粒状转变，并且薄膜的表面粗糙度相应变小；同时薄膜中非金刚石组份逐渐增多，膜材的物相纯度下降。氮气浓度除决定了纳米金刚石薄膜中N的掺杂度外，还会对膜材的物相组成、形貌及结构产生巨大的影响。