对于电子皮肤(e-skin)应用而言,使用柔性的对化学敏感的纳米材料的可在皮肤上安装的化学传感器引起了极大的兴趣。 为了构建这些传感器,新兴的原子薄的二维(2D)分层半导体可能是很好的材料候选者。 本文中,我们显示了通过硫化钨膜合成的大面积WS2膜在自然平坦状态和高机械柔性状态(弯曲曲率低至5 mm)中均显示出高湿度感测性能。 合成后的WS2的电导率在较宽的相对湿度范围内(高达90%)敏感地增加,并在几秒钟内快速响应并恢复时间。 通过使用石墨烯作为电极并使用薄聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为衬底,制造出了透明,柔性和可拉伸的湿度传感器。 该传感器可以很好地层压在皮肤上,并在未变形的松弛状态下以及在压缩和拉伸载荷下显示出稳定的水分感测行为。 此外,它的高感测性能可以实时监测人的呼吸,从而表明了潜在的无面罩呼吸监测的医疗应用。 我们相信,这种与皮肤活动兼容的WS2湿度传感器可能有助于开发基于2D半导体的低功耗可穿戴化学传感器。