基于垂直-水平弯曲的静电微驱动器分析

大排量，低压，快速响应是微执行器的研究方向。静电横向负载的微型致动器存在电压过大或位移过小的问题。基于竖向水平弯曲的原理，提出了大排量低压微执行器的模型。弹力从恢复力转换为驱动力。推导了微束的挠度方程。仿真表明，位移最大为145μm。驱动电压低至5V。位移和驱动电压优于当前的微执行器性能。