四自由度的位移测量

采用全息透镜作为分光元件,利用其±1级衍射汇聚(发散)光束的焦点在菲涅耳近似条件下不随入射光的线位移而移动的原理,将线位移和角位移的测量分开。利用两片高精度的位置敏感探测器(PSD)(面阵),准直He-Ne激光束为基准,采用互相垂直的布局,实现了目标靶的四自由度实时测量。结构合理,测试头体积小、重量轻,便于安装;测量精度高,角位移的分辨力为1″,线位移分辨力为1μm。该系统亦适用于诸如机床导轨、大尺寸零件安装等多自由度的准直和微小偏移量的测量。