CMTa/CTi异质薄膜的Pechini方法制备及结构分析

CMTa/CTi异质薄膜的Pechini方法制备及结构分析，李桂芬，周静，采用Pechini方法制备了CMTa及CTi前驱体溶液，采用液相旋涂技术按照一定的排布方式制备了CMTa/CTi异质叠层薄膜，分析了叠层方式对薄膜结�