射频电源自动阻抗匹配器的设计思路分享4

随着射频技术进入镀膜工艺之后，射频匹配也随之成为需要解决的问题。射频电源的功率应尽可能的用于镀膜工艺中，系统的输入功率直接影响到等离子体的浓度和压力，也就直接影响了镀膜的质量，关系到工艺水平的好坏。在一定条件下，镀膜系统负载是随时间发生变化的，这使得阻抗的自动匹配变得更为必要。而国内现在都是以手动匹配为主，射频电源自动阻抗匹配器的发展是一个瓶颈。因此，自动匹配技术的研究有很重要的意义。