(n)纳米硅/(p)单晶硅异质结中的载流子传导，韦文生，王天民，n型氢化纳米硅/p型单晶硅异质结作为一种非常有潜力的硅异质结构微电子器件，吸引了人们广泛的关注。本工作中，把掺磷的纳米硅薄膜
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