铜与a-SiCOF介质相互作用的俄歇电子能谱表征

铜与a-SiCOF介质相互作用的俄歇电子能谱表征，张卫，陈玮，低介电常数材料取代传统的氧化硅作为互连介质可以降低集成电路的互连延迟，非晶硅碳氧氟(a-SiCOF)是一种新型的超低介电常数材料。本