光吸收调制微加工技术中偶氮材料光吸收率的时间变化特性

基于偶氮材料光吸收调制的高分辨率微加工技术近年来引起了极大关注。为揭示该技术中偶氮材料光吸收调制的机制，结合偶氮材料光致异构原理，利用偶氮材料的光吸收理论模型，数值模拟了偶氮材料光吸收率的时间变化特性。以典型偶氮苯染料分散黄7(Disperse Yellow 7-DY7)为例，分别开展了在365 nm光束单独作用和365 nm与532 nm双光束共同作用下，不同厚度DY7薄膜在365 nm光吸收率的时间变化特性实验研究。结果表明，在365 nm光束作用下，偶氮苯材料对365 nm光吸收率因光致异构效应发生了明显改变，而实验中532 nm光束的热效应对偶氮苯材料的光吸收率有显著的影响。