PSD微位移测量系统的设计与验证 (2014年)

以提高PSD输出微弱电流信号的稳定性和精度为目的，讨论了PSD驱动、运放电路的设计。主要考虑因素包括：两级精密运放选择，电源滤波模块设计，PCB设计中数模抗干扰，电源和地的处理，抗环境光干扰，PSD及其运放电路集成化，以及适应不同漫反射性质的被测物体的多路放大倍数设计等。最后，区别于传统的测量方案，采用一种基于标定测量的方法。通过音叉振动波形和定点距离测量实验，验证了PSD微位移测量系统的稳定性和精度都较好，测量范围20mm，位移测量相对精度达到1．01％。